一种基于AI的KrF、ArF光刻胶配方推荐系统及方法

本发明公开了一种基于AI的KrF、ArF光刻胶配方推荐系统及方法，涉及光刻胶配方推荐技术领域，包括采用电子束曝光与深紫外光刻方法，对光刻胶配方参数进行数据采集，得到原始实验数据集；对原始实验数据集进行预处理，得到结构化数据集；采用数据库构建方法，将结构化数据集存储至关系型数据库，建立索引并划分训练集与验证集，得到历史数据库；基于历史数据库和卷积神经网络构建预测模型，并输入历史数据库中的配方参数至预测模型中，输出分辨率与LWR的预测值；基于分辨率与LWR的预测值，采用NSGA‑II多目标优化方法，在显影时间和曝光能量的约束条件下进行优化，得到帕累托最优解集；采用物理气相沉积设备PVD，对帕累托最优解集中的推荐配方进行性能测试。