一种基于可形变电极的超灵敏电容式传感器

本发明公开了一种基于可形变电极的超灵敏电容式传感器，包括由下至上依次叠设的下电极层、介电层和上电极层；所述下电极层包括由下至上叠设的下柔性衬底和下电极板；所述下电极板包括圆柱形的可形变电极和用于封装所述可形变电极的柔性封装层；所述介电层包括长方体和圆台；所述上电极层包括由下至上叠设的上电极板和上柔性衬底；所述上电极板通过导线引出；本发明的传感器在受力时可以同时引起上下电极板之间的距离以及正对面积的变化，提升受力时电容值的变化量，实现高灵敏度的拉压力检测，可以应用于柔性可穿戴设备、工业自动化、机器人触觉反馈、健康监测及医疗设备等领域，尤其适用于需高灵敏度检测的场景。