一种芯片结构及其制备方法、质谱仪器

本申请实施例属于质谱仪器技术领域，涉及一种芯片结构及其制备方法、质谱仪器。所述芯片结构包括：芯片基底，所芯片基底用于承载待检测基质；导电层，所述导电层覆盖所述芯片基底的下表面。因导电层覆盖芯片基底的下表面，故当芯片基底放置于托架之后，托架的抵接部将抵接于导电层。当托架加电之后，导电层也将带电，带电的导电层将会产生均匀的电场，该电场的电场线初始位置相同，所以芯片基底的上表面放置了多个待检测基质后，各待检测基质能够位于同一等势面，由此确保待检测基质的检测精准度，避免其因待检测基质位于不同等势面而导致重复度较高，且能够提高待检测基质的离子化程度。