一种光波导和DFB激光器集成芯片的制备方法

本发明提供一种光波导和DFB激光器集成芯片的制备方法。通过在硅晶圆衬底上预先制备通孔阵列，以及特定的制备工艺，可以使金属电极通孔阵列穿过绝缘层和硅晶圆衬底材料，进而直接将DFB激光器和半导体制冷器连接起来，这样可以有效提高该集成芯片的散热性能。