摘要
本申请涉及一种突触薄膜晶体管以及制备方法。本申请提供的突触薄膜晶体管为堆叠结构,自下而上依次包括:栅极、导电基底、介电层、N型半导体薄膜层、第一电极、第二电极以及P型半导体薄膜层,第一电极和第二电极间隔设置于N型半导体薄膜层的上面,P型半导体薄膜层覆盖于N型半导体薄膜层、第一电极和第二电极之上,N型半导体薄膜层和P型半导体薄膜层的能级匹配。本申请通过堆叠能级匹配的N型半导体薄膜层和P型半导体薄膜层,以使突触薄膜晶体管具备双极性功能,从而简化了电路设计,提高了仿生神经网络硬件的集成度。
技术关键词
半导体薄膜层
P型半导体薄膜
薄膜晶体管
半导体材料
电极
介电层
神经网络硬件
堆叠结构
金属氧化物
导电
钙钛矿
磁控溅射法
栅极
二氧化铪
基底
氧化铟
氧化镧
氧化锡
氧化铬
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