大面积激光退火的均匀性控制方法及装置

本发明涉及自动控制技术领域，公开了一种大面积激光退火的均匀性控制方法及装置，所述方法包括：获取基板三维高度分布图，用自适应分割算法划分子区域，得到高度均值与边界坐标。依据高度均值计算焦距调整量，生成焦点参数表。经激光测试比对，动态调焦至焦点偏移小于阈值，获修正焦点数据。提取能量过渡特征，以最小能量梯度约束生成扫描路径。按路径控制激光束，采集能量分布信号，检测初始退火深度，调整未达一致性的子区域激光参数，平滑边缘区域退火特征，生成满足均匀公差的控制指令。本方法通过测量基板全区域高度分布，对基板划分不同的子区域并平滑区域之间的能量过渡，实现激光退火的均匀控制。