一种具有中心定位模块的晶圆量测驱动机构

本发明涉及一种具有中心定位模块的晶圆量测驱动机构，在晶圆量测驱动机构上与转台模块同轴得设置中心定位模块，中心定位模块上的至少三个卡爪在卡爪驱动组件的驱动下与晶圆边缘抵接，晶圆抵接部在运动过程中始终位于圆心在转台模块的旋转轴上的相同半径的圆周上，使得晶圆的中心位于转台模块的旋转轴上，以对机械臂转运过来的晶圆的中心位置进行校正。