一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法

本发明公开了一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法，属于晶圆缺陷检测技术领域，包括以下步骤：将晶圆图案离散化为多个离散点，同时根据照明光源类型，将照明光源的形状离散化为多个点光源并得到单个点光源坐标；针对每个点光源，利用其坐标由严格矢量衍射积分模型获取点光源照明时对应每个离散点处晶圆图案的空间像；对所有点光源对应的晶圆图案的空间像进行叠加，获得部分相干照明时对应晶圆图案的空间像，这样可以实现对晶圆图案空间像的精确获取，从而有效提升晶圆缺陷检测的可靠性与效率，满足半导体行业对高精度、高适应性检测技术的迫切需求，推动集成电路芯片制造质量的提升。