适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法

本发明公开了一种适用于化学气相沉积装备的大流量气体发生器及供给方法，属于气半导体制造技术领域。本发明采用蝶阀代替传统流量计供给流量，避免了流量计带来的阻力大、流量小的缺点，进一步的，该发生器集成了振动以及加热装置，使用温度和振动耦合控制，并配合压力的闭环控制，使大流量气体发生器能够恒定在目标气压，即能够保持其供给稳定流量气体；进一步的，本发明通过气压的闭环控制通过成熟的PID算法使气压即流量能够快速达到目标流量，实现高精度控制，本发明方案实现了流量、精度、稳定性的三者统一。