电子束倾斜角度的量化方法、电子设备及产品

本发明提供了一种电子束倾斜角度的量化方法、电子设备及产品。其中电子束倾斜角度的量化方法包括：通过扫描电子显微镜分别获取具有三维旋转角度的棱锥形样品的第一图像和第二图像；利用差分滤波器增强第一图像和第二图像的边缘信息，并通过二值化方法提取关键点集；从关键点集中提取第一图像和第二图像中的特征直线；结合三维旋转矩阵与第一图像的特征直线构建目标函数，通过Nelder‑Mead算法解算出棱锥形样品的三维旋转角度；结合倾斜变换矩阵与第二图像的特征直线构建线性方程组，通过最小二乘法解算出电子束的二维倾斜角度，能够消除样品旋转带来的几何误差，为量化电子束倾斜角度排除干扰；有效提高倾斜角度的解算精度和稳定性。