摘要
本发明公开了一种生物芯片的制作方法,该方法包括以下步骤:准备导电基板;在基板表面加工阵列导电凸点形成导电凸点层;通过超声波振动辅助网板渗透涂覆绝缘层并梯度固化;基于三维扫描数据对绝缘层进行高精度打磨以暴露凸点顶面。通过导电基板一体化成型导电凸点层,简化了传统多层结构工艺,消除界面接触电阻,结合振动涂覆与梯度固化增强绝缘层附着力,避免涂层开裂。采用先粗磨后三维扫描引导细磨的双重工艺,确保凸点顶面平面度偏差,提升电场分布均匀性。该制备方法解决了传统电穿孔技术能量损耗大、靶向性差的问题,具有工艺简单、成本低、电极稳定性高的特点,适用于透皮给药及皮肤治疗领域。
技术关键词
导电基板
生物芯片
凸点
平面校正
绝缘涂料
电场分布均匀性
超声波振动辅助
界面接触电阻
三维扫描数据
生成三维图像
高精度磨床
电穿孔技术
平面度
皮肤治疗
工装
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激光传感器
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