一种用于石英舟自动火抛光的装置及其方法

本发明公开了一种用于石英舟自动火抛光的装置及其方法，包括：石墨定位工装、抛光灯组、氢氧气管闭环控制装置，工作台上对应石墨定位工装设有电子打火器，氢氧气管闭环控制装置用于精确调节氢气和氧气流量、压力、混合比例，机器人本体包括机身、智能控制系统和活动设置在机身前端的机械臂，氢氧气管、电磁阀活动设置在灯把上，灯把通过对应的接口与机械臂活动连接。本发明石英舟全自动火抛光方法，通过六轴机器人集成双抛光灯组，配合石墨工装定位和氢氧气闭环控制系统，实现石英舟表面高精度、高效率抛光。相比传统工艺安全可靠，且抛光均匀性提升50%，单件加工时间缩短至15分钟，适用于光伏行业石英舟批量处理，有较高的推广价值。