一种改进型的IGBT模块结构及封装方法

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一种改进型的IGBT模块结构及封装方法
申请号:CN202510618045
申请日期:2025-05-14
公开号:CN120709250A
公开日期:2025-09-26
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种改进型的IGBT模块结构及封装方法,属于技术领域,包括DBC基板,DBC基板的上表面设置有IGBT芯片,IGBT芯片为倒装设置,IGBT芯片的背面通过激光剥离和机械抛光的方式进行减薄,IGBT芯片与DBC基板之间设置有微柱阵列,IGBT芯片的背面设置有铜柱凸点,铜柱凸点的上表面设置有灌封层,DBC基板的底部设置有相变散热层,解决了传统IGBT模块散热性能和电气性能不佳,互连可靠性较差的问题。
技术关键词
IGBT芯片 DBC基板 模块结构 铜柱凸点 碳化硅纳米线 有机硅预聚体 有机硅材料 封装方法 石蜡复合相变材料 飞秒激光双光子 铜基板 纳米复合浆料 金刚石复合体 真空钎焊 散热层 涂覆硅橡胶 机械抛光 石墨烯气凝胶 制作工艺流程 磁控溅射沉积
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