摘要
本发明提供了一种改进型的IGBT模块结构及封装方法,属于技术领域,包括DBC基板,DBC基板的上表面设置有IGBT芯片,IGBT芯片为倒装设置,IGBT芯片的背面通过激光剥离和机械抛光的方式进行减薄,IGBT芯片与DBC基板之间设置有微柱阵列,IGBT芯片的背面设置有铜柱凸点,铜柱凸点的上表面设置有灌封层,DBC基板的底部设置有相变散热层,解决了传统IGBT模块散热性能和电气性能不佳,互连可靠性较差的问题。
技术关键词
IGBT芯片
DBC基板
模块结构
铜柱凸点
碳化硅纳米线
有机硅预聚体
有机硅材料
封装方法
石蜡复合相变材料
飞秒激光双光子
铜基板
纳米复合浆料
金刚石复合体
真空钎焊
散热层
涂覆硅橡胶
机械抛光
石墨烯气凝胶
制作工艺流程
磁控溅射沉积
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