一种光芯片及其制造方法

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一种光芯片及其制造方法
申请号:CN202510620477
申请日期:2025-05-14
公开号:CN120122278B
公开日期:2025-07-25
类型:发明专利
摘要
本发明涉及光芯片技术领域,具体公开了一种光芯片及其制造方法,包括多层光子集成电路和电子集成电路,所述多层光子集成电路包括若干依次堆叠键合的光子集成电路层,相邻的光子集成电路层之间形成有供光信号垂直互连的光通路,最顶层的光子集成电路层与所述电子集成电路互连互通,通过多层介质波导实现光信号自由传输和互连,通过多层介质光波导和结构实现光垂直互连和光过孔,且通过多层堆叠设计,便于外接扩展单元,具有高设计自由度,解决了传统的具备多层结构的光芯片,其需要单独设计模块以进行互联,与当前的芯片架构适配性弱的问题。
技术关键词
光子集成电路 电子集成电路 交叉波导 光芯片 中间层 光信号 分路器 紧凑型 基底层 光电 矩阵 介质波导 芯片架构 调制器 扩展单元 电极 相变材料 传输光
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