摘要
本发明涉及光芯片技术领域,具体公开了一种光芯片及其制造方法,包括多层光子集成电路和电子集成电路,所述多层光子集成电路包括若干依次堆叠键合的光子集成电路层,相邻的光子集成电路层之间形成有供光信号垂直互连的光通路,最顶层的光子集成电路层与所述电子集成电路互连互通,通过多层介质波导实现光信号自由传输和互连,通过多层介质光波导和结构实现光垂直互连和光过孔,且通过多层堆叠设计,便于外接扩展单元,具有高设计自由度,解决了传统的具备多层结构的光芯片,其需要单独设计模块以进行互联,与当前的芯片架构适配性弱的问题。
技术关键词
光子集成电路
电子集成电路
交叉波导
光芯片
中间层
光信号
分路器
紧凑型
基底层
光电
矩阵
介质波导
芯片架构
调制器
扩展单元
电极
相变材料
传输光
系统为您推荐了相关专利信息
发光芯片
多通道
芯片组件
位移传感器结构
低反射
电吸收调制激光器
调制器
取样光栅
波长
P面电极
金属构件修复
应力
激光表面合金化
喷砂机构
高功率光纤激光器