一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法

本发明公开了一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法，包括支撑板，所述支撑板顶部开设有第一凹槽，所述第一凹槽内表面转动安装有传送带，所述支撑板顶部活动安装有顶板，所述顶板顶部开设有第四凹槽，所述第四凹槽内表面活动安装有第五电动伸缩杆，所述第五电动伸缩杆输出端转动连接有四个夹爪，所述支撑板顶部固定安装有两个侧板，两个所述侧板相对面共同固定连接有超声波清洗器；三个连接杆转动使三个夹爪相互靠近进而将衬底夹紧，接着再将衬底移动至清洗槽内腔，对衬底进行清洗，最终在干燥箱内腔对衬底进行干燥，接着再使衬底落到传送带顶部，通过检测器对衬底进行检测，配合挡板根据检测结果的不同对衬底进行分类收集。