一种具有吸尘结构的碳化硅晶圆激光打码机及打码方法

本发明公开了一种具有吸尘结构的碳化硅晶圆激光打码机及打码方法，属于激光打码领域。一种具有吸尘结构的碳化硅晶圆激光打码机及打码方法，包括工作仓以及设置于工作仓内壁一侧对晶圆片进行打码的加工结构，还包括安装于工作仓内壁靠近加工结构一侧对加工中的晶圆片进行除尘的吸尘机构；所述吸尘机构包括：吸真空机，所述吸真空机位于工作仓的内壁靠近加工结构一侧，本发明控制转运机器人带动转运臂对晶圆片进行转移，转移至放置盘上，将吸真空机的输出端通过管道与排气口连接，打开吸真空机吸力通过两组输入管分别传输至第一吸气框、第二吸气框，对晶圆片的表面以及侧壁的灰尘进行吸附，提高打码效率。