一种离子注入机剂量控制系统、电路及电子设备

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一种离子注入机剂量控制系统、电路及电子设备
申请号:CN202510640120
申请日期:2025-05-19
公开号:CN120511183A
公开日期:2025-08-19
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种离子注入机剂量控制系统、电路及电子设备,应用于一般控制或调节技术领域,该控制系统中包括:控制机箱、剂量控制器、实时控制器、转接板。三者通过第一接插件、第二接插件对插连接。在需要对注入剂量进行控制时,由剂量控制器接收束流监测参数,通过转接板回传至实时控制器,由实时控制器基于接收到的束流监测参数执行预置的逻辑控制代码,生成控制命令,经转接板下发至剂量控制器,由该剂量控制器响应控制命令动作。选用本申请实施例,摒弃传统的实时控制器、剂量控制器通过线束连接的通讯方案,可节约空间的同时,降低线束工艺维护的难度。
技术关键词
实时控制器 转接板 电平转换芯片 供电接插件 离子注入机 剂量控制系统 控制机箱 供电模块 扫描电源 接触件 参数 扫描控制信号 生成控制命令 电子设备
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