一种远程等离子源解离率检测方法及装置

本发明属于等离子源技术领域，提供了一种远程等离子源解离率检测方法及装置。本发明的方法包括：采样待检测等离子源的近红外光谱；使用预构建的离化鉴别模型对近红外光谱进行特征预测，获得光谱特征预测值；通过优化模型对所述光谱特征预测值进行优化，确定光谱特征预测值中的最优解；根据最优解获得剩余气体浓度，确定远程等离子源的解离率。本发明通过离化鉴别模型获取光谱预测值，之后通过优化模型确定特征光谱数据的最优解，能够获得与结果相差更小的误差值，提高了远程等离子体解离率的检测精度，实现了解离率的数字表征。