一种涂胶显影设备

本发明提供一种涂胶显影设备，涉及涂胶显影设备技术领域，包括SPIN单元、涂胶装置和显影装置，SPIN单元包括承载平台，用于承载晶圆并控制晶圆旋转，晶圆上具有光刻胶，使晶圆旋转后，光刻胶在晶圆的上方形成光刻胶层，其中涂胶装置位于SPIN单元的上方，并且能够将光刻胶层进行切割，使晶圆上表面的光刻胶层剥离；与现有技术相对比，本发明通过LoadPort与半导体机器人配合完成晶圆精准输入及传送，SPIN单元通过高精度旋转涂覆(动态校准)形成初步的光刻胶层，然后通过涂胶装置对初步形成的光刻胶层进行切割，便于晶圆向后续工序转移输送，输送过程中避免损坏光刻胶层，PSPB机器人和MPB机器人协同完成晶圆在HP加热固化与CP冷却的流程控制。