晶圆传送机械臂

本发明提供一种晶圆传送机械臂，用于抓取和传送晶圆，所述机械臂上设置有至少一组吸附组件，所述吸附组件用于吸附晶圆，所述吸附组件包括至少一个接触点，每个所述接触点包括相连接的压力传感器和橡胶头，所述橡胶头用于与所述晶圆表面相接触，并通过摩擦力吸附所述晶圆；所述压力传感器用于获取对应的一个所述橡胶头接触所述晶圆时的压力信息。该机械臂可以获取橡胶头与晶圆表面接触时的压力信息，有助于及时发现机械臂与晶圆接触时的压力异常，防止机械臂在晶圆传送过程中使晶圆与其他部件碰撞或摩擦造成晶圆表面的磨损或破碎，提升晶圆良率。