一种超声波键合机构及键合机

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一种超声波键合机构及键合机
申请号:CN202510670385
申请日期:2025-05-23
公开号:CN120533248A
公开日期:2025-08-26
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种超声波键合机构及键合机,其中的超声波键合机构包括换能器、变幅杆、键合工具及固持组件。变幅杆沿第一轴线设置,变幅杆的第一端与换能器连接,变幅杆的第二端设有沿第二轴线贯穿变幅杆的第一通孔。固持组件与变幅杆固定连接,固持组件上设有与第一通孔相对的锁紧槽,键合工具沿第二轴线设置,键合工具第一端穿过第一通孔后锁紧在锁紧槽内,键合工具第二端为键合端。本申请的超声波键合机构,通过将键合工具依次插入至第一通孔及锁紧槽后,即可完成对键合工具的安装,无需通过专门的安装工装来安装键合工具,降低了安装及调试工作量,而且在键合过程中,通过将静载荷施加至固持组件上,可降低换能器端部的转矩进而提升键合效果。
技术关键词
键合工具 固持组件 超声波 锁紧槽 锁紧螺丝 变幅杆 换能器 球体 键合机 供料机构 承载机构 通孔 锁紧顶丝 引线 安装工装 分体式结构 振动波 间距 芯片 工作量
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