一种智能调控的工业机器人半导体清洗系统

本发明属于信息技术领域，具体聚焦于多光谱检测与智能识别的杂质针对性清洗算法，通过多光谱检测传感器采集晶圆杂质数据，利用CNN识别杂质类别，针对性调整清洗参数，使杂质残留率从30％降至5％以内，显著提升清洗效果，满足高洁净度要求。基于多目标优化与强化学习的清洗效率提升算法，借助深度Q网络，以清洗效率、效果和成本为指标优化参数，清洗效率提升30％以上，成本降低20％以上，在保证清洗质量的同时，大幅提高生产效益。