一种晶圆彩色图像一致性评价与缺陷检测方法

本发明公开一种晶圆彩色图像一致性评价与缺陷检测方法。首先从图像质量、物理属性、像素差分等三个维度对晶圆彩色图像的一致性进行评价，据此调整与监控机台硬件，保证晶圆彩色图像的一致性与高质量，检测时基于晶粒最小重复单元来将待测晶圆图像与标准模板进行差分，再通过多通道的加权整合来最终确定缺陷区域。该方法可提高缺陷检测效果的准确性与不同机台结果的一致性，且实现与计算过程简单易行，可进一步满足半导体行业对自动光学检测的需求。