基于移相量块的超高分辨率干涉仪测量方法及系统

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基于移相量块的超高分辨率干涉仪测量方法及系统
申请号:CN202510679958
申请日期:2025-05-26
公开号:CN120212876A
公开日期:2025-06-27
类型:发明专利
摘要
本发明公开了基于移相量块的超高分辨率干涉仪测量方法及系统,包括将超高分辨率干涉仪和预设相量块置于保温箱内,采用两种稳频激光通过单模光纤引入所述保温箱内;采用五步相移法获取干涉条纹数据,根据所述激光波长调整所述干涉条纹数据,获得调整数据;获取所述保温箱内包含所述预设相量块的环境数据,基于所述环境数据通过剔除变化影响修正所述调整数据获得修正数据;通过多波长小数重合法根据不同波长下的所述干涉条纹小数和所述干涉条纹整数级数确定所述预设相量块的长度,获取柯氏干涉仪的测量数据,对所述移相器进行自适应补偿,根据所述测量数据的不确定度修正所述长度,输出为测量结果。
技术关键词
干涉仪 移相器 保温箱 数据 测量方法 表达式 光机系统 稳频激光 光程 可调反射镜 多波长 转盘系统 单模光纤 相位解包裹算法 扩束系统 空气 干涉条纹图像
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