一种基于二步轮廓分割的晶粒模板自动提取方法和系统

本发明提供了一种基于二步轮廓分割的晶粒模板自动提取方法和系统，方法包括：估算晶粒的周期性，根据水平和竖直方向的周期性确定晶粒的初始宽度和高度；增强晶圆图像中的边缘信息；提取图像中的四个方向的直线，四个方向包括垂直、水平、45度和135度方向；设置晶粒的初始轮廓；利用主动轮廓模型进行图像分割，迭代更新晶粒的精细轮廓；在晶圆图像上的多个区域重复二步轮廓分割，得到多个晶圆图像的分割结果；对得到的多个结果进行平滑，将结果作为晶粒模板并输出。本发明二次轮廓提取的方法，解决了基于直线提取的晶粒轮廓精确度低，和主动轮廓模型需要手动设立初始值的缺点。本发明能够自动提取出晶粒的高精度模板，以便于进行实时晶圆缺陷检测。