一种半导体芯片测试中的自适应温度控制方法及系统

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一种半导体芯片测试中的自适应温度控制方法及系统
申请号:CN202510692648
申请日期:2025-05-27
公开号:CN120560379A
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片测试技术领域,具体公开了一种半导体芯片测试中的自适应温度控制方法及系统,包括:在芯片表面部署非均匀网格拓扑布局的温度传感器阵列,利用时空同步算法对多传感器采集的数据进行融合处理,构建出三维温度梯度场模型,用于为后续的温度控制提供基础数据支持;建立双层控制模型,通过在线迁移学习机制将历史测试数据中的温度响应模式编码为策略网络先验知识,并定期执行策略网络参数更新;本发明通过部署非均匀网格拓扑布局的温度传感器阵列,并利用时空同步算法融合多传感器数据,为温度控制提供了高精度的数据支持,这种数据驱动的方式能够实时反映芯片表面及关键区域的温度变化,克服传统温控方法的适应性差的问题。
技术关键词
液冷循环系统 温度控制方法 温度传感器阵列 半导体芯片 强化学习模型 复合控制策略 资源分配机制 深度确定性策略梯度 嵌入式热电偶 在线迁移学习 同步算法 散热器接触面 独立控制单元 构建代价函数 红外热成像仪 热传导方程 融合多传感器数据 冗余控制策略
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