芯片的转移与键合方法、显示器的制备方法及显示器

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芯片的转移与键合方法、显示器的制备方法及显示器
申请号:CN202510700149
申请日期:2025-05-28
公开号:CN120568948A
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
本发明涉及巨量转移与键合技术领域,公开了一种芯片的转移与键合方法、显示器的制备方法及显示器,方法包括:提供驱动基板和目标晶圆,驱动基板的一侧表面具有多个阵列设置的键合凸点;在驱动基板靠近键合凸点的一侧涂覆下填胶,并进行第一烘烤处理,使下填胶中的溶剂蒸发形成胶膜;在将目标晶圆对准驱动基板之后,基于激光巨量转移方式,将至少一个芯片从第一衬底层转移至驱动基板的相应位置;将上基板放置于芯片远离驱动基板的一侧表面上并施加压力;在持续施加压力的情况下,进行加热处理,使至少一个芯片的电极和对应的键合凸点相接触并键合。本发明能够缩减激光转移及键合的工艺步骤,有效地提升显示器的整体良率。
技术关键词
驱动基板 晶圆 显示器 衬底层 二氧化硅 红光芯片 激光修复机 胶膜 有机硅材料 电极 涂覆 层转移 外延 加热 环氧树脂 基体
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