芯片封装结构及其制备方法、电子设备

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芯片封装结构及其制备方法、电子设备
申请号:CN202510186237
申请日期:2025-02-20
公开号:CN119673895A
公开日期:2025-03-21
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种芯片封装结构及其制备方法、电子设备,适用于半导体技术领域,该芯片封装结构包括第一晶圆、第一介电层、第二介电层、第二晶圆和第二导电结构。第一介电层设置于第一晶圆上。第二介电层设置于第一介电层的远离第一晶圆的一侧,第二介电层中设置有第一导电层和第一导电结构,第一导电结构设置于第一导电层的远离第一晶圆的一侧,第二介电层包括远离第一晶圆一侧的第一表面,第一导电结构从第一表面延伸至第二介电层内,并与第一导电层电连接。第二晶圆设置于第二介电层的远离第一晶圆的一侧。第二导电结构贯穿第二晶圆,并与第一导电结构电连接。本申请的技术方案实现了芯片封装结构的整体良率的提升。
技术关键词
导电结构 芯片封装结构 介电层 导电层 键合结构 晶圆 电子设备 电路板 光刻工艺
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