晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台

本发明涉及探针检测技术领域，公开了一种晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台。该方法：对晶圆表面图像进行边界增强处理，得到边界增强输入张量；基于边界增强输入张量执行双路径特征提取，得到包含芯片边界和测试点位置的第一特征图；对第一特征图进行通道注意力和空间注意力筛选，得到第二特征图；对第二特征图进行芯片分布特征分析，得到测试点聚类结果；执行探针移动路径规划，得到全局最优路径；基于全局最优路径建立探针台逆运动学模型，并根据探针台逆运动学模型计算探针轨迹控制序列。本发明增强了晶圆表面芯片边界特征提取能力，确保了探针在高速测试过程中的稳定性和平滑性，大幅提升了探针定位精度。