一种复合光波导调制器的制备方法及复合光波导调制器

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种复合光波导调制器的制备方法及复合光波导调制器，制备方法包括：提供波导晶圆，波导晶圆包括衬底层、第一包层和多个波导结构；对第一包层远离衬底层的一侧表面进行刻蚀处理，在波导结构两侧形成凹槽；在凹槽内形成第一导电层；在第一导电层远离第一包层的一侧表面形成第二包层，第二包层的厚度大于键合层所需的目标厚度；对第二包层进行抛光处理，形成键合层；在键合层远离第一包层的一侧表面形成多个间隔设置的第二导电层，第一导电层和第二导电层形成电连接；对调制器芯片与键合层远离第一包层的一侧表面进行键合处理，得到复合光波导调制器。与相关技术相比，本发明中键合界面的平整度更高。