一种旋转中心精定位方法、旋转中心定位装置及纠偏系统

本发明涉及一种旋转中心精定位方法、旋转中心定位装置及纠偏系统。本发明所述的旋转中心精定位方法包括：通过拟合算法进行粗定位得到旋转中心，再建立以该旋转中心为坐标原点的机械坐标系，再根据旋转过程中旋转中心在机械坐标系中的偏移量，根据偏移量与旋转角的相对位置关系，来求解旋转中心的修正量，根据修正量得到精定位后的旋转中心坐标。本发明所述的旋转中心精定位方法具有解决了纠偏台由于机械结构限制使得采集到的用于计算旋转中心的像素坐标集中分布，导致旋转中心拟合不准的问题的优点。