一种基于光束整形的改质加工方法及加工系统

本发明提供了一种基于光束整形的改质加工方法及加工系统，包括如下步骤：根据目标改质结构的三维模型，通过全息算法得到与三维模型对应的三维光场分布，生成相位调制图；通过空间光调制器加载所述相位调制图，对入射激光的波前相位进行调制，使光束在材料表面或内部聚焦为预设的空间曲面光场；利用所述空间曲面光场聚焦于材料，使光场区域内的材料发生非线性吸收或相变，直接形成三维模型的改质结构。本发明突破传统逐点扫描式加工的限制，显著提升复杂三维结构的加工效率与柔性，适用于透明材料内部波导刻写、曲面裂片分离、大面积剥片、功能化表面制备、不透明材料巨量去除加工等场景，显著提升加工效率与质量。