基于多传感器融合的方形基板供胶涂布控制系统

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基于多传感器融合的方形基板供胶涂布控制系统
申请号:CN202510768744
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120276372A
公开日期:2025-07-08
类型:发明专利
摘要
本发明公开了基于多传感器融合的方形基板供胶涂布控制系统,涉及涂布控制技术领域。包括:创建模块:创建融合传感模块,融合传感模块至少包括两个传感组件,得到传感组件项,传感组件项分别用于获取供胶过程中基板的基础属性反馈信息、预处理反馈信息以及供胶反馈信息;获取模块:基于传感组件项,获取目标基板的整体图像信息,得到目标图像项。本发明通过多传感器融合技术实现了供胶过程的精细化控制,融合传感模块整合了基础属性、预处理及供胶反馈信息,形成多维度数据闭环,有效提升了检测冗余性与环境适应性,将浸润度与粗糙度数据的联合分析,使温度调节公式能动态优化胶体温度,确保胶体粘度与基板特性高度适配。
技术关键词
涂布控制系统 传感组件 信息项 基板 传感模块 红外扫描设备 特征点 粗糙度 方形 多传感器融合技术 数据 温度传感设备 图像拼接算法 多传感融合 基础 白光干涉仪 图像分割 接触角
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