摘要
一种工艺设备的预测性维护方法及系统、设备、存储介质和计算机程序产品,方法包括:获取工艺设备的实时运行数据;分析运行数据,预测工艺设备的运行状态,作为预测运行状态;基于预测运行状态,生成工艺设备的维护规划。本发明有利于提高生产效率,降低维护成本。
技术关键词
历史运行信息
历史运行状态
设备状态数据
计算机程序产品
规划
刻蚀工艺设备
支持向量机模型
随机森林模型
历史运行数据
排产计划
传感器阵列
指令
神经网络模型
数据采集模块
处理器
操作系统
存储器
系统为您推荐了相关专利信息
攻击数据生成方法
训练语言模型
模型训练方法
样本
非暂态计算机可读存储介质
词嵌入向量
词嵌入模型
训练文本数据
对话机器人
意图识别
问答模型
输出特征
双向注意力机制
文本
多轮对话
空压机故障
故障诊断方法
空压机设备
故障诊断模型
数据