工艺设备的预测性维护方法及系统、设备、存储介质和计算机程序产品

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工艺设备的预测性维护方法及系统、设备、存储介质和计算机程序产品
申请号:CN202510773155
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120634522A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
一种工艺设备的预测性维护方法及系统、设备、存储介质和计算机程序产品,方法包括:获取工艺设备的实时运行数据;分析运行数据,预测工艺设备的运行状态,作为预测运行状态;基于预测运行状态,生成工艺设备的维护规划。本发明有利于提高生产效率,降低维护成本。
技术关键词
历史运行信息 历史运行状态 设备状态数据 计算机程序产品 规划 刻蚀工艺设备 支持向量机模型 随机森林模型 历史运行数据 排产计划 传感器阵列 指令 神经网络模型 数据采集模块 处理器 操作系统 存储器
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