一种双工位收发一体式耦合设备的控制方法及系统

本申请提供一种双工位收发一体式耦合设备的控制方法及系统，包括：获取目标区域的缺陷坐标与针孔特性数据，解析得到透过率异常区域，并据此生成螺旋搜索算法的初始路径，调整搜索步长与角度，得到待扫描区域的初步扫描边界；分析扫描路径与缺陷的接近程度，若在预设范围内，则根据缺陷坐标确定功率降低条件并调整功率，处理光斑得到其尺寸，并计算展宽系数；从分配后的功率分布中提取光斑尺寸的动态变化数据，扫描缺陷区，得到热积累风险实时分布图，动态调整光斑尺寸与功率直至峰值耦合功率稳定性恢复至预设范围。