大口径收集镜的梯度Mo/Si多层膜的设计方法、设备和介质

本发明提供了一种大口径收集镜的梯度Mo/Si多层膜的设计方法、设备及介质，其中，方法包括：由极紫外周期反射梯度Mo/Si多层膜、保护帽层和隔离层构成梯度Mo/Si多层膜，其中，在极紫外周期反射梯度多层膜的顶部覆盖保护帽层、在Mo/Si层之间设置隔离层；极紫外周期反射梯度Mo/Si多层膜为层厚度梯度变化的周期性多层薄膜结构，层厚度与入射角呈梯度变化，满足二次函数关系；基于二次函数关系对极紫外周期反射梯度Mo/Si多层膜的每一层薄膜的层厚度进行拟合优化以匹配入射角，得到大口径收集镜的梯度Mo/Si多层膜，以解决无法满足极紫外光刻光学系统大口径收集镜工作时大入射角范围内的反射率需求的问题。