摘要
本公开提供了一种封装结构以及形成方法,其中,封装结构包括:多个第一芯片、多个微流控芯片、多个第一连接结构、多个玻璃流道和多个第二芯片;其中,多个第一芯片逐层堆叠;在多个第一芯片的堆叠方向上,每两个相邻的第一芯片相互键合,并且,每两个相邻的第一芯片之间设置有一个微流控芯片;多个玻璃流道和多个第二芯片,均环绕多个第一芯片的侧壁设置;每个玻璃流道,粘合至多个第一芯片的侧壁,且与多个微流控芯片连通;每个第二芯片,粘合至对应的一个玻璃流道;每个连接结构的第一端,键合至位于顶部的第一芯片;每个第一连接结构的第二端,键合至对应的一个第二芯片。从而,能够进一步提高封装结构的集成度。
技术关键词
微流控芯片
金属互连
封装结构
导电
流道
玻璃
介质
基板
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