硅片阻挡机构、硅片清洗设备以及硅片清洗方法

本发明公开了一种硅片阻挡机构、硅片清洗设备以及硅片清洗方法，所有硅片阻挡机构应用于硅片清洗设备上，所述硅片阻挡机构包括：架体上具有用于放置花篮的容纳空间；阻挡组件安装于架体上，所述阻挡组件包括可沿水平方向在第一位置和第二位置之间转动的弹性件；其中，所述弹性件位于第一位置时，所述弹性件至少有部分凸伸于容纳空间中并可与花篮内的硅片相抵。本发明可以在插片装置的插片过程中，降低因硅片与花篮撞击导致的硅片破损的概率。