一种基于动态间距的晶圆预扫描方法

本申请公开了一种基于动态间距的晶圆预扫描方法，涉及半导体技术领域，该预扫描方法根据第i‑1组芯片动态间距以及第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标确定第i个靶面图像中各颗芯片的全局行列坐标，然后利用第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标更新第i‑1组芯片动态间距得到第i组芯片动态间距，继而按照第i组芯片动态间距继续对第i+1个靶面图像进行处理，该方法根据每个扫描位置处芯片的实际间距来动态更新芯片动态间距，使得对逐靶面扫描得到的靶面图像进行处理过程中使用的芯片动态间距更符合实际芯片排布情况，在扩膜不均衡导致芯片间距发生变化的情况下也能够准确扫描确定芯片的全局行列坐标，提高了预扫描成功率和准确性。