晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置

本公开提供晶圆传送设备及其安全检测系统和检测方法、控制装置。安全检测系统包括障碍物检测装置和控制装置，障碍物检测装置包括至少一动态检测模组，用于受控沿预设的检测路径移动并生成动态检测信号，至少一动态检测模组沿预设的检测路径移动形成的检测范围覆盖传送机器人的作业区域；控制装置与至少一动态检测模组通信连接，用于控制至少一动态检测模组执行安全检测，根据动态检测信号而判断检测范围内是否存在障碍物，在确定存在障碍物时采取应对措施。安全检测系统结构简单、能对传送机器人的作业区域执行全面且快速的安全检测，在检测到障碍物时采取有效的应对措施，避免传送机器人因路径障碍物引发碰撞事故。