摘要
本申请提供一种Micro LED芯片巨量转移方法及Micro LED显示面板,首先提供驱动背板,驱动背板上设置焊盘,焊盘用于对应放置红像素LED芯片、绿像素LED芯片以及蓝像素LED芯片。然后提供临时衬底,不同临时衬底上分别设置红像素LED芯片、绿像素LED芯片以及蓝像素LED芯片。接着将临时衬底与驱动背板通过框胶贴合,使红像素LED芯片与焊盘镜像一一对应。之后剥离临时衬底,去除框胶。最后重复前两个步骤,将绿像素LED芯片和蓝像素LED芯片与焊盘镜像一一对应,得到Micro LED显示面板。通过这种方式,实现了高效率、高精度的Micro LED芯片巨量转移。
技术关键词
LED芯片
巨量转移方法
MicroLED显示面板
驱动背板
像素
框胶
转移装置
玻璃基板
标记
缓冲层
焊盘阵列
镜像
外延
蓝宝石衬底
电极
氧化钛
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