一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质

本发明提供了一种机器人工位坐标校准方法及系统、存储介质，其中方法步骤包括：步骤S1依据晶圆工位初始极坐标、对准器工位极坐标，令机器人前往晶圆工位取出晶圆，送至对准器；步骤S2对准器检测晶圆偏心量并将晶圆旋转复位，由机器人取出，送回晶圆工位；步骤S3将晶圆偏心量转换为相对于机器人世界坐标系下的晶圆偏心坐标；步骤S4将晶圆工位的初始极坐标转换为机器人世界坐标系下的笛卡尔坐标，并通过晶圆偏心坐标修正，反向示教机器人，籍此在工作环境下，利用同在真空腔室内的晶圆对准器来自动示教机器人，从而解决现有因人工及环境因素所导致的机器人累积误差。