2.5D衬底封装方法和封装结构

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2.5D衬底封装方法和封装结构
申请号:CN202510796610
申请日期:2025-06-16
公开号:CN120319666B
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本申请提供的一种2.5D衬底封装方法和封装结构,涉及半导体封装技术领域。该2.5D衬底封装方法包括提供载具;其中,载具具有平坦部和凸台部;凸台部凸出于平坦部。在凸台部形成第一布线层;在平坦部形成第二布线层;第一布线层和第二布线层相互独立。贴装第一芯片;第一芯片包括多个第一电连部,至少一个第一电连部和第一布线层电连接,至少一个第一电连部和第二布线层电连接;与第一布线层相连的第一电连部的长度小于与第二布线层相连的第一电连部的长度。去除载具;在第二布线层远离第一芯片的一侧形成焊球。有利于降低电感效应以及寄生效应,缩短传输路径,提高传输效率,提升芯片集成度和产品性能。
技术关键词
布线 封装结构 封装方法 衬底 导电柱 芯片堆叠 凹槽 半导体封装技术 焊盘 胶膜 电压调节器 焊球 承台 传输路径 导电胶 电感器 静电 电阻器
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