一种基于MEMS半导体芯片的PCR荧光信号检测装置

本发明公开了一种基于MEMS半导体芯片的PCR荧光信号检测装置，包括顶电极，所述顶电极的下表面固定安装有玻璃，所述玻璃的下表面固定安装有底电极，所述底电极的下表面周边位置固定安装有下玻璃，所述底电极的下表面位于下玻璃的内侧固定安装有膜，所述膜的下方设有空腔，所述空腔的下方位置设有光源。本发明所述的一种基于MEMS半导体芯片的PCR荧光信号检测装置，通过改变微纳结构尺寸、形状和材料等特征则可实现滤波性能的定制；通过一个MEMS模块可实现多种波段的光过滤，因此通过一个模块同时替代了原来光过滤和接收功能，体积微小且价格低廉。