一种基于深度学习算法的低温泵健康监测平台

本发明适用于半导体工艺中真空设备的健康监测领域，提供了一种基于深度学习算法的低温泵健康监测平台，所述健康监测平台包括：低温泵、压缩机系统、真空抽气系统和健康监测系统；所述压缩机系统由氦气压缩机、氦气管线和电控单元组成；所述真空抽气系统由前级机械泵、气动阀门和波纹管构成；所述健康监测系统包括加速度传感器、数据采集卡、上位机、数据平台和故障预警系统；振动信号的测量由加速度传感器完成，数据采集及上传至上位机则通过数据采集卡实现，上位机接收数据后进行计算分析。该发明能够减少因系统故障停机或参数调整导致的生产中断，在降低生产成本的同时提高生产效率，为半导体集成电路的连续化、高效化制造提供有力支撑。