摘要
本发明公开了一种电场辅助定域电沉积3D打印方法及其装置,属于增材制造领域,目的在于解决现有定域电化学沉积技术,在生产过程中易形成离子耗尽区,影响三维微结构的沉积速率的问题。该装置包括气浮隔振平台、底板、支撑架、工作阳极单元、沉积单元、辅助单元、工作阴极单元、探针移动单元、工作台移动单元;所述底板设置于气浮隔振平台上,所述探针移动单元、支撑架分别设置在底板上,所述工作台移动单元与支撑架相连。本申请通过在玻璃探针外侧设置环形电场,辅助电解液中的金属离子定向运动,并在阴极的设定位置达到可控沉积,提高了三维微结构的尺寸、形状精度以及沉积速率,对于三维微结构的大规模工业化应用,具有显著的进步意义。
技术关键词
移动单元
微探针
气浮隔振平台
辅助供电系统
运动控制器
电场
工作台
阳极
三维微结构
阴极板
阴极单元
打印方法
玻璃
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三维实体模型
电化学沉积技术
底板
导电金属板
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