一种延长清洗机SC-1槽用滤芯使用寿命的方法、系统及设备

本申请实施例涉及硅片清洗机清洁技术领域，公开了一种延长清洗机SC‑1槽用滤芯使用寿命的方法、系统及设备。包括：对清洗机SC‑1槽中的滤芯进行智能扫描诊断，生成扫描数据，并基于所述扫描数据进行数字孪生引导滤芯拆除；设计三级氧化池，将所述滤芯置于三级氧化池中并进行三级梯度氧化深度处理，去除滤芯中存在的复合污染物；对去除复合污染物的滤芯进行涡流空化协同冲洗，进行物理级深度清洁；在清洗完成后，用干净的工具将冲洗后的滤芯安装回清洗机SC‑1槽的原位。可以至少用以解决现有技术无法有效提升滤芯使用寿命的技术问题。