摘要
本发明提供一种蓝宝石晶棒应力检测系统及检测方法,该检测系统包括晶棒搬运模块、视频采集模块、识别模块及数据记录终端,该检测方法包括以下步骤:机械手抓取晶棒、相机及移动模组启动、“弓”字形拍摄、倒“弓”字形拍摄、相机及移动模组返回、机械手放置晶棒;该检测方法还涉及一种应力识别方法,包括以下步骤:ROI定位、形态学分析、确定应力类型和量化等级、计算应力坐标,将应力划分为晶界(X)与扭曲(N)两种类型,X1、X2和N0、N1、N2五个量化等级。该检测系统及检测方法可以广泛应用于蓝宝石晶棒检测领域,实现多尺寸(2‑8英寸)蓝宝石晶棒应力的精确、快速、自动化、全覆盖识别,显著提升检测可靠性、检测效率和质量管理效率。
技术关键词
应力检测系统
移动模组
蓝宝石晶棒端面
应力检测方法
数据记录终端
应力仪
视频采集模块
机械手
相机
控制单元
识别模块
搬运模块
视频录制功能
解析方法
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