一种MEMS传感器芯片结构及MEMS谐振传感器芯片

本发明公开一种MEMS传感器芯片结构及MEMS谐振传感器芯片，涉及精密检测技术领域，包括：基底，开设有凹槽结构的空腔；可动极板组件，包括可动极板、驱动部和固定部，可动极板位于空腔上方并通过固定部安装于基底上；振动片组件，包括位于空腔上方的振动片且设置于可动极板的背离基底的一面，振动片与可动极板之间具有间隙并可往复扭转振动；可动极板相对振动片的位置至少包括非工作位置和工作位置，在可动极板处于非工作位置时，可动极板与振动片之间的距离为第一预设距离，在可动极板处于工作位置时，可动极板与振动片之间距离为第二预设距离，第一预设距离大于第二预设距离，驱动部用于驱动可动极板在工作位置和非工作位置之间移动切换。