一种多芯片扇出封装结构及封装方法

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一种多芯片扇出封装结构及封装方法
申请号:CN202510860975
申请日期:2025-06-25
公开号:CN120933269A
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,具体地说是一种多芯片扇出封装结构及封装方法。包括第一重布线层,所述的第一重布线层一侧表面通过第一UBM层电连接芯片,第一重布线层另一侧表面分别设有垂直导电结构、硅桥芯片,硅桥芯片一侧通过BCB层连接PI层,PI层另一侧分别设有第二重布线层、第三重布线层垂直导电结构电连接第一重布线层与第二重布线层。同现有技术相比,利用BCB材料的粘性,使TSV硅桥芯片露头后直接贴片置于载板一侧,减少TSV硅桥的FC过程,避免Underfill的使用,将硅桥芯背面TSV直接通过重布线层引出至塑封层的背面。
技术关键词
垂直导电结构 封装方法 剥离层 芯片封装技术 底部填充胶 载板 重布线层 锡球 涂覆 贴片
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